GaAs、 InPに加え、最近注目のSb系結晶材料、またこれらの
材料の特殊な面方位の基板など、新たな研究開発に必要な
仕様で、少量多品種のご要望にもお応えできるよう製品を
取り揃えております。

●V-X単結晶
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2″ |
3″ |
4″ |
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GaAs |
N型、P型、SI |
N型、P型、SI |
N型、SI |
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InP |
N型、P型、SI |
N型、P型、SI |
SI |
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InAs |
N型、P型 |
N型 |
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InSb |
N型、P型 |
N型 |
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GaSb |
N型、P型 |
N型 |
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| GaP | N型、P型 (LEC) |
N型、P型 (LEC) |
基板標準規格
面方位: (100)、(110)及びオフアングル品
特殊面方位 (X11)X=1、2、3・・
仕上げ: エピレディ(MOVPE、MBE、LPE、VPE用)
面方位公差: ±0.1°(高精度品±0.02°)
OF: EJまたはSEMI
ドーパント:
GaAs : N型(高Si,中Si,低Si) P型(Zn) SI(アンドープ)
InP : N型 (アンドープ、Fe、Sn、S) P型(Zn)
InAs : N型(アンドープ、S)
P型(Zn)
InSb : N型(アンドープ、Te) P型(Ge)
GaSb : N型(Te) P型(アンドープ、Zn)
GaP : N型(S,Te) P型(Zn)
グレード: プライム、モニター、ダミー
